RION/日本理音液體粒子計(jì)數(shù)器，可檢測(cè)從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計(jì)數(shù)器的使用是為了控制化學(xué)品中的粒子，如半導(dǎo)體制程中的專(zhuān)用材料比如SOG和光阻材料，超純水和清洗用化學(xué)劑比如堿，有機(jī)溶劑和氫氟酸。另外，也可檢測(cè)化學(xué)機(jī)械拋光中大粒徑的研磨液，測(cè)試方法包括在線(xiàn)和離線(xiàn)測(cè)試。

特點(diǎn)優(yōu)勢(shì)

光源鐳射二極管(波長(zhǎng):780nm,額定輸出:5mW)

鐳射材料 人造石英PFA PTFE

流量10ml/分鐘

粒徑范圍(7通道，標(biāo)配) ;   ≥0.5μm;  ≥1μm;   ≥2μm;   ≥3μm;   ≥5μm;  ≥10μm;  ≥20μm 

可選通道 1-10個(gè)通道,由控制器設(shè)定,設(shè)定范圍:0.5~20μm

粒子數(shù)量 1200顆/ml

電源 DC12V(由KE-40B1供應(yīng))

尺寸.重量 125（H）X 240(W)  X 151(D)mm,大約:3.2kg