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層流罩的塵埃粒子測試方法

2019-07-23
2626
深圳市億天凈化技術(shù)有限公司
       
       層流罩的塵埃粒子測試方法


       層流罩是能將操作員與產(chǎn)品屏蔽隔離的設(shè)備之一,其主要用途是避免產(chǎn)品污染。從潔凈室吸取的空氣,然后采用頂部增壓艙里安裝的風(fēng)扇通過HEPA過濾垂直穿過操作區(qū)域,為關(guān)鍵區(qū)域提供ISO 5(級別100)的單向流空氣。廢氣從下面排出,返回潔凈室區(qū)域。它主要由箱體、風(fēng)機、高效空氣過濾器、阻尼層、燈具等組成。
 

  潔凈層流罩是將空氣以一定地風(fēng)速通過高效過濾器后,形成均流層,使?jié)崈艨諝獬蚀怪眴蜗蛄鳎瑥亩WC了工作區(qū)內(nèi)達到工藝要求的高潔凈度。潔凈度等級標準:工作區(qū)內(nèi)≥0.5μm粒徑的塵埃≤3.5顆/升(FS209E100級)。下面深圳億天凈化簡單描述一下層流罩的塵埃粒子測試方法和條件:

  層流罩的塵埃粒子測試方法:

  1、關(guān)閉凈化空調(diào),使室內(nèi)≥0.5μm粒子濃度大于350 00粒/L,且吸風(fēng)口≥0.5μm粒子濃度不得小于350 00粒/L。

  2、當(dāng)吸風(fēng)口處的粒子濃度達到穩(wěn)定條件下,在距主過濾器或整流格柵出口250 mm的平行斷面的中心處連續(xù)測試5次,求其平均值。

  3、當(dāng)測試時有5μm粒子出現(xiàn)時,應(yīng)進行多次采樣,當(dāng)其多次出現(xiàn)時,才認為該測試數(shù)值是可靠。

  4、可接受標準:≥0.5μm粒子濃度小于3.5粒/L,不準許有≥5μm粒子。

  5、檢測結(jié)果記錄表錄入。

  層流罩的塵埃粒子測試條件:

  1、層流罩吸風(fēng)口≥0.5μm粒子濃度不得小于35000粒/L。

  2、層流罩吸風(fēng)口處的粒子濃度測試,需要在測試潔凈工作臺操作區(qū)粒子濃度的時間內(nèi)進行,需測5次。

  3、檢測儀器:美國TSI9306-04塵埃粒子計數(shù)器。

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